Journal Search Engine
Search Advanced Search Adode Reader(link)
Download PDF Export Citaion korean bibliography PMC previewer
ISSN : 1598-6721(Print)
ISSN : 2288-0771(Online)
The Korean Society of Manufacturing Process Engineers Vol.18 No.5 pp.74-81
DOI : https://doi.org/10.14775/ksmpe.2019.18.5.074

CO2 Laser Scribing Process of Soda Lime Glass

Seung-Gu Kang*, Joong-Han Shin*#
*Department of Mechanical and Automotive Engineering, Kongju National UNIV.
Corresponding Author : jhshin@kongju.ac.kr Tel: +82-41-521-9254
11/03/2019 19/04/2019 30/04/2019

Abstract


This study reports the CW CO2 laser scribing of soda lime glass. In this study, scribing experiments are carried out at different laser powers, scan speeds, and focal positions to investigate the effect of the process parameters on the interaction characteristics between a laser beam and glass. In particular, the interaction characteristics are analyzed and described with the input laser energy per unit length. According to the experimental results, the damage threshold for the glass surface was found to exist between 0.072 and 0.08 J/mm. The input laser energy in this region induced partial melting of the surface and grain-shaped cracks. These cracks tended to increase as the input laser energy increased. At the laser input energy larger than 1 J/mm, a huge crack propagating along the scan direction was produced, and the volume below the scribed area was fully melted. The growth of this crack finally resulted in the complete cutting of the glass at the input laser energy above 8 J/mm. It was found that both the width and depth of the scribed line increased with increasing input laser energy. For the beam focusing at the rear surface, the width of the scribed line varied irregularly. This could be ascribed to the increased asymmetry of the beam intensity distribution when the laser beam was focused at the rear surface. Under this condition, a large burr was only produced on one side of the scribed line.



소다석회유리의 CO2 레이저 스크라이빙 가공

강 승구*, 신 중한*#
*국립공주대학교 기계자동차공학부

초록


    National Research Foundation of Korea
    NRF-2018R1D1A1B07040563

    © The Korean Society of Manufacturing Process Engineers. All rights reserved.

    This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License (http://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.

    1. 서 론

    유리는 중요한 공학소재로 디스플레이, 광학 및 통신 분야에 많이 사용되고 있으며 이로 인하여 다 양한 유리 가공 방식이 이용 및 개발 중에 있다. 전통적인 유리 가공 방식에는 다이아몬드 포인터나 휠 커터[1~3] 등을 사용하여 물리적인 접촉에 의해 유리를 가공하는 방법이 있으나 이러한 방법들은 가공 부위에 큰 균열 및 재료의 손실을 유발하며 곡선가공이 어렵다는 단점이 있다. 고온 고압 공기 를 이용하는 고온 에어 젯(hot air jet)[4] 과, 고 수압 을 이용하는 워터 젯(water jet) 가공[5,6] 은 다양한 형태의 곡선가공이 용이하며 상대적으로 우수한 표 면 마무리를 제공하는 장점이 있으나 가공부 세정 을 위한 후속 공정으로 추가 시간 및 비용이 발생 하는 단점이 있다.

    이 외에도 최근에는 고 에너지 레이저 빔을 열원 으로 사용하여 유리를 가공하는 방식이 큰 관심을 받고 있다[7~10]. 레이저 가공은 비 접촉 방식으로 인 하여 취성이 높은 소재 가공이 적절하고[11~13], 자동 화가 용이하며 빠른 공정이 가능한 장점을 가지고 있다[14]. 또한, 레이저 공정의 경우 상대적으로 작은 레이저 빔의 크기 (수 ~ 수백 마이크로미터)로 인 하여 정밀한 재료 가공이 가능하다[15~17].

    레이저 소스 종류 중 10.6 μm의 원 적외선 파장 을 가지는 CO2 레이저는 유리소재에 잘 흡수되는 특성이 있어 유리 소재 가공 시 많이 이용되고 있 다. CO2 레이저를 이용한 소다석회 유리의 마킹 가공이 Allcock[18] 등에 의해 연구되었다. CO2 레 이저에 의해 발생된 표면의 미세한 균열 및 물질 제거에 의해 빔 경로를 따라 마킹이 성공적으로 형성되었다. Zhimalov[19] 등은 CO2 레이저 빔을 이 용한 플로트 유리 절단 연구를 수행하였다. 레이 저 절단의 경우 금속 롤러를 사용하는 기계적 절 단에 비해 절단면의 조도 및 기계적 강도를 크게 향상시키는 것이 확인 되었다. Tsai[20] 등은 기계 적 스크라이빙(scribing)과 레이저를 함께 이용하여 LCD 유리를 절단하는 가공법을 연구하였다. 이 가공법에서는 다이아몬드 포인터가 절단 경로를 따라 먼저 균열 및 홈을 발생시키고, 이후 CO2 레 이저 빔이 경로를 따라 조사되면서 유리 두께 방 향으로 균열을 성장시켜 절단이 이루어지도록 하 였다. Mishar[21] 등은 75 μm 얇은 유리를 포함하 는 다층의 복합 소재를 CO2 레이저를 이용하여 절단하였다. 레이저 출력, 스캔 속도 및 횟수에 따 른 절단면의 특성이 분석되었으며 절단면의 평균 조도는 85.6 μm 수준으로 확인 되었다.

    소다석회유리는 가장 보편적으로 이용되는 유리 의 종류로 건축물의 기능성 창유리 및 다양한 용기 의 주재료로 쓰인다. 레이저 스크라이빙은 사용되 는 공정 조건 (레이저 출력 및 스캔 속도 등) 에 따 라 마킹, 홈파기 및 절단을 유도할 수 있는 중요한 레이저 가공기술로 소다석회유리 가공의 다양한 분 야에 적용될 수 있다. 본 연구에서는 연속파 CO2 레이저를 이용한 소다석회유리의 스크라이빙 가공 실험이 수행되었다. 공정 변수로는 레이저 출력, 스 캔속도 및 초점위치가 고려되었으며, 다양한 공정 조건에 따른 레이저 빔과 소다석회 유리의 반응 특 성이 분석되었다. 특히, 단위 길이당 레이저 빔 입 력 에너지에 따른 소다석회 유리의 손상 임계값 및 절단 조건을 확인하였고 반응부의 상세한 형상이 광학현미경과 주사현미경을 이용하여 분석되었다.

    2. 실험 방법

    2.1 실험 장치 및 재료

    이 실험에 사용된 레이저장치는 INNOSTA 사의 IS 960 모델이다. 이 장치는 최대 80 W의 빔 출력 이 가능한 연속파 CO2 레이저 소스와 600 mm/s의 스캔속도를 제공하는 갠트리(gantry) 시스템을 제공 한다. 레이저 소스에서 발진된 빔은 빔 전달 광학 계를 통해 레이저 노즐로 이송되며, 레이저 노즐내 부의 초점렌즈를 통해 레이저 빔은 최종적으로 유 리 기판에 입사된다. 갠트리 시스템 및 이송체인과 연결된 레이저 노즐은 X-Y축 방향으로 이송하면서 유리기판 위의 빔의 위치를 제어한다(Fig. 1). 이 실 험에서는 크기 200×100 mm, 두께 4 mm의 소다석 회유리 기판이 이용되었다. 소다석회유리의 열 및 광학적 물성치는 Table 1에 보인다.

    2.2 공정 평가 및 분석 방법

    Fig. 1에 보이는 CO2 레이저 시스템을 이용하여 유리기판 위에 60 mm길이의 스크라이브 라인 (scribe line)을 조사하는 실험을 진행하였다. 이 연 구에서는 레이저 빔의 초점위치에 따른 가공 특성 도 분석되었다. 레이저 빔의 초점을 유리후면에 위치시키기 위해 M. Rubin의 논문에 보고된 식 (1) 의 내용을 참고하였다[22]. 식 (1)에서 n은 굴절 률, R은 유리의 두께, A는 유리 기판 후면에 초점 을 위치시키기 위한 유리 기판 전면에서부터의 빔 초점 이동거리이다. 파장이 10.6 μm인 CO2 레이 저에 대한 소다석회유리의 굴절률은 1.97이고, 유 리의 두께가 4 mm 임을 이용하여 빔 초점 이동 거리 A(2 mm)를 구하였다.

    n = R/A
    (1)

    빔 초점 위치변경 외에 레이저 출력과 스캔 속 도도 공정 변수로 이용되었다. 실험에 사용된 공 정 조건들은 Table 2에 정리되어 보인다.

    실험 후 표면에 발생된 스크라이브 라인 형상을 상 세히 분석하기 위해 광학현미경(OLYMPUS BH2-UMA)과 주사현미경(Tescan Vega3)을 사용하였 다. 광학현미경을 이용하여 스크라이브 폭과 반응 부 균열 형상을 관측하였고 주사현미경을 이용하여 스크라이브 라인의 정밀한 횡단면 관측을 진행하였 다. 관측에 사용된 시편은 레이저 스캔속도의 가감 속 영향이 상대적으로 작은 스크라이브 라인의 중 앙부를 사용하였다.

    3. 실험결과 및 분석

    3.1 단위 길이당 빔 입력 에너지에 따른 손상 임계값 평가

    소다석회유리 손상을 유발시키는 단위 길이당 임 계 입력 에너지 확인을 위한 평가를 진행하였다. 본 연구에서 단위 길이당 입력 에너지(J/mm)는 레 이저 출력을 스캔속도로 나눈 값으로 정의된다. 실 험에 사용된 레이저 출력과 스캔속도 조건들을 이 용하여 계산된 단위 길이당 입력 에너지 범위는 table 2에 보인다. 이 실험은 레이저 빔의 초점이 유리 전면에 위치한 상태에서 진행되었다. Fig. 2는 단위 길이당 입력 에너지에 따른 반응부 표면 형상 을 나타낸다. Fig. 2(a)에서 보여 지듯이 0.072 J/mm 이하 조건에서는 CO2 레이저가 유리 표면에 어떠 한 손상도 입히지 못하는 것이 확인 되었으며, 0.08 J/mm로 에너지 증가 시 Fig. 2(b)에 보여 지듯이 유 리 표면에 부분 용융이 발생하면서 손상(수백 마이 크로미터 크기의 결정모양의 균열 발생)이 발생하 는 것이 관측되었다. 실험 결과에 의하면 유리 표 면에 손상을 유발시키는 임계 에너지 값은 0.072 J/mm와 0.08 J/mm사이에 존재하는 것으로 판단된 다.

    3.2 단위 길이당 입력 에너지에 따른 균 열 특성 분석

    레이저 빔에 의해 스크라이브된 영역은 용융 후 빠르게 응고되며, 응고 과정 중 급격한 온도 변화 에 의한 열응력 발생은 용융부에 균열을 유발한다.

    Fig. 3은 단위 길이당 에너지에 따른 반응부 균 열형상을 보여준다. Fig. 2(b)에서 보이는 결정모양 의 균열들은 단위 길이당 입력 에너지가 증가함에 따라 Fig. 3에서 보이듯이 그 크기가 증가하는 경향 을 보인다.

    Fig. 3에서 보이듯이 결정모양의 균열들은 0.27 J/mm까지는 그 모양이 유지되나 0.32 J/mm부터는 1 mm 이상의 큰 균열들이 발생하면서 균열의 형상 이 변경되는 것을 확인하였다. 에너지 증가 시 균 열의 크기는 더욱 성장하며 Fig. 3(d)에서 보이는 것과 같이 스캔방향에 따라 거대한 균열이 추가로 발생되는 것이 확인되었다. 스캔방향을 따르는 큰 균열은 유리 두께 방향으로의 용융 증가와 연관이 있는 것으로 판단된다. 레이저 에너지 증가는 스캔 시 반응부 용융 깊이를 증가시키며, 증가된 용융부 는 빠른 냉각과정 중 큰 열응력을 유도하게 된다. 이러한 큰 열응력이 스캔라인을 다라 지속적으로 발생하면서 결국 스캔방향의 커다란 균열을 야기 시킨것으로 판단된다. 이 조건에서는 그림에서와 같이 결정모양의 균열들은 보이지 않는다.

    0.27 J/mm이하에서는 반응부 표면에서만 부분 용 융이 발생하면서 1 mm 이하의 균열들이 발생하며 0.32 J/mm 이상에서는 반응부의 용융정도가 증가하 면서 균열들의 크기가 급격히 증가하는 것이 관측 되었다.

    Fig. 4는 더욱 증가된 입력 에너지에서의 반응부 형상을 보여준다. 1 J/mm 이상의 단위 길이당 입력 에너지에서는 스크라이브된 영역이 완전히 용융되 며 반응부의 모양이 일정한 라인형상을 유지하는 것이 관측되었다. 반응부 표면에는 완전 용융에 의 한 유동발생 흔적들이 보인다. Fig. 5

    높은 입력 에너지 조건에서는 Fig. 3(d)에서 보이 는 스캔방향의 균열이 크게 성장하며 또한, 스캔방 향을 가로지르는 균열들이 부수적으로 발생하는 것 이 확인되었다 (Fig. 6 참조).

    단위 길이당 입력 에너지가 8 J/mm이상에서는 스 캔 방향 균열이 스크라이브된 영역 전반에 걸쳐 성 장하면서 최종적으로 완전한 유리의 절단이 발생하 는 것이 확인되었다. Fig. 7에서 보여 지듯이 절단 부위는 거칠고 날카로운 형상을 가지고 있다. Fig. 8은 절단 부 측면의 모습을 보여 준다. 두께 방향 으로 전체 용융의 흔적은 보이지 않으며, 표면 아 래 약 1 mm 깊이까지만 레이저 스크라이빙에 의해 용융이 발생하였다. 용융부 단면은 중심이 높은 레 이저강도를 가지는 빔의 영향으로 포물선 형상을 따른다. 용융이 발생하지 않은 절단면은 그림에서 보여 지는 바와 같이 매우 부드러운 표면을 가짐을 확일 할 수 있다.

    Table 3은 3.1절과 3.2절의 결과 분석내용을 바탕 으로 정리한 단위 길이당 입력 에너지에 따른 레이 저 빔과 유리의 반응 특성을 보여준다.

    3.3 스크라이브 라인 용융부 형상 분석

    Fig. 910은 단위 길이당 입력 에너지에 따른 용융 후 고상화 된 스크라이브 라인의 폭과 깊이를 보여준다. Fig. 9에서 보여 지듯이 단위 길이당 입 력 에너지에 따라서 스크라이브 라인의 폭은 증가 한다. 특히 에너지가 1 ~ 3.2 J/mm인 영역에서는 스크라이브 라인의 폭이 급격하게 증가하는 것이 관측되었으며 3.2 J/mm이상부터 폭의 증가정도가 완만해지는 것이 확인되었다. 후면 초점의 경우, 전 반적으로 에너지에 따라 폭이 증가하는 경향을 보 이나 전면 초점대비 폭의 변화양상이 불규칙한 것 으로 관측되었다.

    후면 초점의 경우 불규칙한 폭의 변화 양상은 표 면반응부에서의 빔 강도 분포 비대칭성에 기인하는 것으로 판단된다. 빔 강도 분포 비대칭성은 반응부 에서의 비대칭 유동 및 한쪽으로 치우친 버 (burr) 를 발생시켰으며 (Fig. 11 참조), 이러한 버의 영향 으로 후면 초점의 경우 폭 변화 양상이 상대적으로 불규칙한 특성을 보였다. 빔 강도 분포 모양은 이 상적인 경우 완전 대칭인 가우시안(Gaussian) 모양 을 따르나, 실제의 경우 어느 정도 비대칭성이 존 재한다. 전면 초점의 경우 레이저가 유리 상단 표 면에 최소한의 빔 크기로 입사되어 빔의 비대칭성 이 잘 드러나지 않으나, 후면 초점의 경우 레이저 빔이 크기가 증가된 상태에서 유리 상단 표면에 입 사되므로 빔의 비대칭성이 상대적으로 더 잘 드러 나며, 이로 인하여 표면에 비대칭적인 온도 분포 및 유동부가 발생되었을 것으로 판단된다.

    Fig. 10에서 나타나듯이 용융깊이 또한 에너지가 커짐에 따라 증가하는 경향을 보이며 폭 대비 증가 정도는 상대적으로 일정하다. Fig. 10에서 볼 수 있 듯이 높은 에너지 조건에서는 전면 초점이 후면 초 점 대비 더 큰 용융 깊이를 유발하였다. 전면 초점 의 경우 유리 전면부에서의 빔의 크기가 작아 동일 빔 출력에서 더 높은 단위 면적당 빔 에너지를 유 리에 입력 시킬 수 있는데 이러한 높은 에너지 밀 도의 빔이 고 에너지 영역에서 더 깊은 용융 풀 (pool)을 만든 것으로 판단된다.

    Fig. 5는 용융이 발생한 스크라이브 라인의 스캔 방향에 수직한 단면 사진을 보여준다. 표면에서는 유동에 의한 물결무늬 형상이 관측되며 두께 방향 으로는 앞에서 기술한 바와 같이 포물선 모양의 용 융 형상이 보인다. 용융부 안쪽에는 수 ~ 수십 마 이크로미터 크기의 기포들이 관측되는데, 이러한 기포들은 용융부로의 공기 유입 및 유리의 주 성분 인 SiO2 분자의 열 분해에 의해 생성된 산소 가스 에 의해 발생된다[23]. 기포발생은 용융 내부에 압력 을 상승시켜 응력 및 균열을 증가시키는 원인이 되 기도 한다.

    Fig. 11은 동일한 입력 에너지 조건하에서 전면 초점 및 후면초점에 따른 용융부 단면 (스캔 방향 에 수직) 사진을 보여 준다. 전면초점 조건에서는 용융부 형상이 대칭을 이루나 후면초점의 경우 앞 에서 기술한 바와 같이 빔 강도 분포의 비대칭성 영향으로 버가 한쪽으로만 크게 발생된 형상이 관 측된다.

    4. 결 론

    본 논문에서는 CO2 레이저를 이용한 소다석회 유리 스크라이빙 공정에 대한 연구내용을 다루었 다. 레이저 출력과 스캔 속도를 변경시키면서 단 위 길이당 레이저 입력 에너지에 따른 레이저와 소다석회 유리의 반응 특성을 분석하였다.

    실험 결과에 따르면, 유리의 손상을 유발시키는 임계 단위 길이당 입력에너지는 ~0.08 J/mm 수준인 것으로 확인되었다. 임계 에너지에서는 결정 모양 의 작은 균열 및 표면 부분 용융이 관측되며 입력 에너지가 증가할수록 균열은 크게 성장하고 반응부 는 완전히 용융 되는 것으로 확인되었다. ~0.08 J/mm 이상의 에너지에서는 스캔 방향을 따르는 큰 균열이 성장하며 에너지 증가에 따라 스캔 방향의 균열이 더 크게 성장하여 최종적으로 8 J/mm 이상 에서는 유리의 완전한 절단이 이루어지는 것이 관 측되었다.

    스크라이브된 영역의 용융 폭과 깊이는 단위 길 이당 입력 에너지가 커짐에 따라 그 값이 증가하는 경향을 보이며, 전면 초점 경우 입사면 (전면부)에 서의 더 큰 에너지 밀도로 인해 후면 초점 대비 더 깊은 용융부를 발생시켰다. 후면 초점의 경우 빔 강 도 분포의 비대칭성 영향으로 비대칭한 용융 단면 부가 형성되었으며 (스크라이브된 영역 한쪽에서만 큰 버가 발생됨), 이로 인해 에너지에 따른 용융부 폭의 변화도 불규칙하게 관측되는 양상을 보였다.

    후 기

    “이 논문은 2019년도 정부(교육부)의 재원으로 한 국연구재단의 지원을 받아 수행된 기초연구사업임 (No. NRF-2018R1D1A1B07040563).”

    Figure

    KSMPE-18-5-74_F1.gif
    Schematic diagram of experimental setup
    KSMPE-18-5-74_F2.gif
    Optical image of laser irradiated glass surface (a) <0.072 J/mm and (b) 0.08 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F3.gif
    Cracks produced with different input energies per unit length (a) 0.144 J/mm, (b) 0.27 J/mm, and (c) 0.32 J/mm and (d) 0.8 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F4.gif
    Optical image of the scribed lines (a) 1.07 J/mm, (b) 4.3 J/mm, and (b) 6.4 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F5.gif
    The cross section image of the scribe line at 4 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F6.gif
    SEM image of the scribed surface (a) 4.3 J/mm and (b) 6.4 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F7.gif
    SEM image of the cut area (top-view) (a) 8 J/mm and (b) 9.6 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F8.gif
    SEM image of the cut area (side view) (a) 8 J/mm and (b) 9.6 J/mm
    KSMPE-18-5-74_F9.gif
    Width of scribe line as a function of input energy per unit length
    KSMPE-18-5-74_F10.gif
    Depth of scribe line as a function of input energy per unit length
    KSMPE-18-5-74_F11.gif
    The cross section image of the scribe line (4.8 J/mm) (a) beam focusing at front surface and (b) beam focusing at rear surface

    Table

    Material properties of soda lime glass
    Process conditions of scribing experiment
    Results of the interaction between laser beam and glass for various input energies per unit length

    Reference

    1. Kondrashov, V. I., Shitova, L. A., Litvinov, V. A. and Surkov, V. V., “Characteristics of cutting parameters and their effect on the glass edge quality,” Glass Ceram+, Vol. 58, No. 9-10, pp. 303-305, 2001.
    2. Pan, C. T., Hsieh, C. C., Su, C. Y. and Liu, Z. S., “Study of cutting quality for TFT-LCD glass substrate,” Int. J. Adv. Manuf. Tech., Vol. 39, No. 11, pp. 1071-1079, 2008.
    3. Zhou, M., Ngoi, B. K. A., Yusoff, M. N. and Wang, X. J., “Tool wear and surface finish in diamond cutting of optical glass,” J. Mater. Process. Tech., Vol. 174, No. 1-3, pp. 29-33, 2006.
    4. Prakash, E. S., Sadashivappa, K., Joseph, V. and Singaperumal, M., “Nonconventional cutting of plate glass using hot air jet: experimental studies,” Mechatronics, Vol. 11, No. 6, pp. 595-615, 2001.
    5. Yuan, F., Johnson, J. A., Allred, D. D. and Todd, R. H., “Waterjet cutting of cross-linked glass,” J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 13, No. 1, pp. 136-139, 1995.
    6. Luna, J. S., Machorro, R., Camacho, J., Luna, E. and Nunez, J., “Waterjet: A promising method for cutting optical glass,” Appl. Optics, Vol. 45, No. 15, pp. 3477-3481, 2006.
    7. Rastogi, V., Chaurasia, S. and Munda, D. S., “Laser induced damage studies in borosilicate glass using nanosecond and sub nanosecond pulses,” J. Non-Cryst. Solids, Vol. 463, pp. 138-147, 2017.
    8. Ahn, S. H., Choi, J. Y., Noh, J. H. and Cho, S. H., “High aspect ratio nanoholes in glass generated by femtosecond laser pulses with picosecond intervals,” Opt. Laser. Eng., Vol. 101, pp. 85-88, 2018.
    9. Beg, F. N., Bell, A. R., Dangor, A. E., Danson, C. N., Fews, A. P., Glinsky, M. E., Hammel, B. A., Lee, P., Norreys, P. A. and Tatarakis, M., “A study of picosecond lsaer-solid interactions up to 1019 W/cm²,” Phys. Plasmas, Vol. 4, No. 2, pp. 447-457, 1997.
    10. Wlodarczyk, K. L., Brunton, A., Rumsby, P. and Hand, D. P., “Picosecond laser cutting and drilling of thin flex glass,” Opt. Laser. Eng., Vol. 78, No. 64-74, pp. 64-74, 2016.
    11. Yang, S. Y., Choi, S. D., Choi, M. S. and Jun, J. M., “Characteristics of Surface Hardened Press Die Materials by CO₂ Laser Beam Irradiation,” J. Korean Soc. Manuf. Process. Eng., Vol. 10, No. 1, pp. 31-37, 2011.
    12. Delgado, T. and Nieto, D., “Fabrication of microlens arrays on soda-lime glass using a laser direct-write technique and a thermal treatment assisted by a CO₂ laser,” Opt. Laser. Eng., Vol. 73, pp. 1-6, 2015.
    13. Lumley R. M., “Controlled separation of brittle materials using a laser,” Am. Ceram. Soc. Bull., Vol. 48, No. 9, pp. 850-854, 1969.
    14. Sugioka, K. and Cheng, Y., “Ultrafast lasers-reliable tools for advanced materials processing,” LIGHT-SCI. APPL., Vol. 3, p. e149, 2014.
    15. Kim, J. S., Ryu, B. S., Kim, K. B., Song, K. H., Kim, B. C. and Cho, M. W., “Development of Internal Laser Scribing System for Cutting of Sapphire Wafer in LED Chip Fabrication Processes,” J. Korean Soc. Manuf. Process. Eng., Vol. 14, No. 6, pp. 104-110, 2015.
    16. Shin, B. S. and Lee, J. H., “Basic Experimental Investgations to UV Laser Micro-Machining of Nano-Porous Alumina Creamic Material,” J. Korean Soc. Manuf. Process. Eng., Vol. 11, No. 1, pp. 62-67, 2012.
    17. Shin, J. H., “Investigation of the surface morphology in glass scribing with a UV picosecond laser,” Opt. Laser. Technol., Vol. 111, pp. 307-314, 2019.
    18. Allcock, G., Dyer, P. E., Elliner, G. and Snelling, H. V., “Experimental observations and analysis of CO2 laser induced microcracking of glass,” J. Appl. Phys., Vol. 78, pp. 7295-7303, 1995.
    19. Zhimalov, A. B. , Solinov, V. F., Kondratenko, V. S. and Kaplina, T. V., “Laser cutting of float glass during production,” Glass Ceram+, Vol. 63, No. 9-10, pp. 319-321, 2006.
    20. Tsai, C. H. and Huang, B. W., “Diamond scribing and laser breaking for LCD glass substrates,” J. Mater. Process. Techol., Vol. 198, No. 1, pp. 350-358, 2008.
    21. Mishra, S., Sridhara, N., Mitra, A., Yougandar, B., Dash, S. K., Agarwal, S. and Dey, A., “CO2 laser cutting of ultra thin(75 μm) glass based rigid optical solar reflector(OSR) for space craft application,” Opt. Laser. Eng., Vol. 90, pp. 128-138, 2017.
    22. Rubin, M., “Optical properties of soda lime silica glasses,” Sol. Energ. Mater., Vol. 12, No. 4, pp. 275-288, 1985.
    23. Cvecek, K., Miyamoto, I., and Schmidt, M., “Gas bubble formation in fused silica generated by ultra-short laser pulses,” Opt. Express, Vol. 22, No. 13, pp. 15877-15893, 2014.